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本技术公开了一种高效的晶圆一次曝光机，包括机柜，所述机柜内设有工作台，所述工作台上设有转盘，所述转盘通过伺服电机驱动，所述转盘的左右两侧均设有存料架，所述存料架上设有存料盒，所述转盘上对称设有两个托盘，所述托盘的上端面设有多个升降顶针，所述...
该专利属于昆山臻欧特自动化工程有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过昆山臻欧特自动化工程有限公司授权不得商用。

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