一种高效的晶圆一次曝光机制造技术

本技术公开了一种高效的晶圆一次曝光机，包括机柜，所述机柜内设有工作台，所述工作台上设有转盘，所述转盘通过伺服电机驱动，所述转盘的左右两侧均设有存料架，所述存料架上设有存料盒，所述转盘上对称设有两个托盘，所述托盘的上端面设有多个升降顶针，所述工作台上通过Z轴伺服移动模组连接有曝光板，所述曝光板伸向所述转盘上方，所述曝光板的证上方通过支架设有曝光机本体，两侧的所述存料架之间设有移载机构，所述移载机构和所述存料架之间连接有矫正机构，所述曝光机通过两个托盘交替上料，所述第一抓手、所述第二抓手和所述第三抓手分别实现晶圆的上料、定位和下料，大大提高了工作效率。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及曝光机，具体的是一种高效的晶圆一次曝光机。

技术介绍

1、曝光机是指通过开启灯光发出uva波长的紫外线，将胶片或其他透明体上的图像信息转移到涂有感光物质的表面上的设备。现有技术中的曝光机不能进行连续曝光，在曝光过程中往往会浪费大量时间，不便于曝光操作的进行，在更换待曝光产品时，往往是通过人工来进行上下料，增加了工作人员的工作量，因此，本技术提出一种高效的晶圆一次曝光机。

技术实现思路

1、为了克服现有技术中的缺陷，本技术实施例提供了一种高效的晶圆一次曝光机，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。

2、本申请实施例公开了：一种高效的晶圆一次曝光机，包括机柜，所述机柜内设有工作台，所述工作台上设有转盘，所述转盘通过伺服电机驱动，所述转盘的左右两侧均设有存料架，所述存料架上设有存料盒，所述转盘上对称设有两个托盘，所述托盘的上端面设有多个升降顶针，所述工作台上通过z轴伺服移动模组连接有曝光板，所述曝光板伸向所述转盘上方，所述曝光板的证上方通过支架设有曝光机本体，两侧的所述存料架之间设有移载机构，所述移载机构和所述存料架之间连接有矫正机构。

3、优选的，所述移载机构包括x轴伺服移动模组，所述x轴伺服移动模组上设有活动块，所述活动块的两端均设有抓手支架，位于左侧的所述抓手支架的左侧固定有第一抓手，位于右侧的所述抓手支架的左右两侧分别设有第二抓手和第三抓手，所述第一抓手、所述第二抓手和所述第三抓手均为水平设置的平板，且共线设置，所述第一抓手、所述第二抓手和所述第三抓手的上端面均设有真空吸嘴。

4、优选的，所述矫正机构包括设于所述工作台上端面上的顶升气缸，所述顶升气缸的顶杆连接有载台，所述载台的前后两侧均设有弧形夹爪，两个所述弧形夹爪关于所述第二抓手对称，两个所述弧形夹爪通过夹爪气缸驱动，所述载台的上端面设有左右贯通的避让缺口。

5、优选的，所述存料架包括设于所述工作台上的y轴伺服移动模组，所述y轴伺服移动模组上竖直设有安装板，所述安装板上设有两个第二z轴伺服移动模组，所述第二z轴伺服移动模组连接有竖板，所述竖板上通过支架连接有多个存料盒，所述存料盒的左右两侧均设有开口，所述存料盒的一对内壁上设有多个存料槽。

6、本技术的有益效果如下：所述曝光机通过两个托盘交替上料，所述第一抓手、所述第二抓手和所述第三抓手分别实现晶圆的上料、定位和下料，大大提高了工作效率。

7、为让本技术的上述和其他目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附图式，作详细说明如下。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种高效的晶圆一次曝光机，其特征在于：包括机柜，所述机柜内设有工作台，所述工作台上设有转盘，所述转盘通过伺服电机驱动，所述转盘的左右两侧均设有存料架，所述存料架上设有存料盒，所述转盘上对称设有两个托盘，所述托盘的上端面设有多个升降顶针，所述工作台上通过Z轴伺服移动模组连接有曝光板，所述曝光板伸向所述转盘上方，所述曝光板的证上方通过支架设有曝光机本体，两侧的所述存料架之间设有移载机构，所述移载机构和所述存料架之间连接有矫正机构。

2.根据权利要求1所述的一种高效的晶圆一次曝光机，其特征在于：所述移载机构包括X轴伺服移动模组，所述X轴伺服移动模组上设有活动块，所述活动块的两端均设有抓手支架，位于左侧的所述抓手支架的左侧固定有第一抓手，位于右侧的所述抓手支架的左右两侧分别设有第二抓手和第三抓手，所述第一抓手、所述第二抓手和所述第三抓手均为水平设置的平板，且共线设置，所述第一抓手、所述第二抓手和所述第三抓手的上端面均设有真空吸嘴。

3.根据权利要求1所述的一种高效的晶圆一次曝光机，其特征在于：所述矫正机构包括设于所述工作台上端面上的顶升气缸，所述顶升气缸的顶杆连接有载台，所述载台的前后两侧均设有弧形夹爪，两个所述弧形夹爪关于第二抓手对称，两个所述弧形夹爪通过夹爪气缸驱动，所述载台的上端面设有左右贯通的避让缺口。

4.根据权利要求1所述的一种高效的晶圆一次曝光机，其特征在于：所述存料架包括设于所述工作台上的Y轴伺服移动模组，所述Y轴伺服移动模组上竖直设有安装板，所述安装板上设有两个第二Z轴伺服移动模组，所述第二Z轴伺服移动模组连接有竖板，所述竖板上通过支架连接有多个存料盒，所述存料盒的左右两侧均设有开口，所述存料盒的一对内壁上设有多个存料槽。

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【技术特征摘要】

1.一种高效的晶圆一次曝光机，其特征在于：包括机柜，所述机柜内设有工作台，所述工作台上设有转盘，所述转盘通过伺服电机驱动，所述转盘的左右两侧均设有存料架，所述存料架上设有存料盒，所述转盘上对称设有两个托盘，所述托盘的上端面设有多个升降顶针，所述工作台上通过z轴伺服移动模组连接有曝光板，所述曝光板伸向所述转盘上方，所述曝光板的证上方通过支架设有曝光机本体，两侧的所述存料架之间设有移载机构，所述移载机构和所述存料架之间连接有矫正机构。

2.根据权利要求1所述的一种高效的晶圆一次曝光机，其特征在于：所述移载机构包括x轴伺服移动模组，所述x轴伺服移动模组上设有活动块，所述活动块的两端均设有抓手支架，位于左侧的所述抓手支架的左侧固定有第一抓手，位于右侧的所述抓手支架的左右两侧分别设有第二抓手和第三抓手，所述第一抓手、所述第二抓手和所述第...

【专利技术属性】
技术研发人员：葛佳，
申请(专利权)人：昆山臻欧特自动化工程有限公司，
类型：新型
国别省市：