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此处所述的一些实施方式包括半导体装置,其包括:多个通道层,位于一半导体基板上,其中所述通道层的配置方向垂直于该半导体基板;一栅极结构,包覆每一所述通道层;以及一源极/漏极区,与所述通道层与该栅极结构相邻且包括:一第一晶种层,包括一第一晶种材...该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。
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此处所述的一些实施方式包括半导体装置,其包括:多个通道层,位于一半导体基板上,其中所述通道层的配置方向垂直于该半导体基板;一栅极结构,包覆每一所述通道层;以及一源极/漏极区,与所述通道层与该栅极结构相邻且包括:一第一晶种层,包括一第一晶种材...