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本申请提供一种晶圆称重系统，晶圆称重系统包括：晶舟、称重传感器、检测电路及控制器；晶舟与称重传感器杠杆平衡连接，其中称重传感器用于在晶舟中放置晶圆时，获取晶圆重量；检测电路与称重传感器电连接，用于将称重传感器获取的晶圆重量转换为第一数字信息...
该专利属于上海积塔半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海积塔半导体有限公司授权不得商用。

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