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本发明涉及半导体生产领域，提供一种用于洁净机器人设备的示教方法、示教器、系统和介质，该方法包括：S1，获取初始配置文件，初始化示教器的配置信息；S2，根据示教器当前的配置信息，获取可连接的洁净机器人设备信息；所述洁净机器人设备信息对应N个洁...
该专利属于中科芯微智能装备（沈阳）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中科芯微智能装备（沈阳）有限公司授权不得商用。

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