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本发明提出一种新型多功能二维材料生长设备，具体涉及于半导体设备技术领域,所述新型多功能二维材料生长设备包括刻蚀组件，其中：刻蚀组件包括激光器以及设置于激光器一侧的半透反射镜和偏转元件，半透反射镜两侧各设有一个反射镜，两个反射镜底部一侧设有聚...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

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