温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公布一种实时测温装置、方法及氮化镓生长设备，包括生长腔体、石英件、籽晶固定件和实时测温装置，所述生长腔体左侧设置有左法兰、左不锈钢腔室和左压环，所述生长腔体右侧设置有右法兰、右不锈钢腔室和右压环，所述左压环右侧和右压环左侧与石英管连接...
该专利属于山东大学所有，仅供学习研究参考，未经过山东大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。