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本公开涉及一种沉积设备、静电卡盘、加热机构及其控温方法，加热机构包括导热板、加热组件以及控制器。加热组件包括至少两个加热元件，其中一个加热元件为主加热元件，其余加热元件为备用加热元件。控制器分别与各个加热组件电性连接，控制器用于控制各个加热...
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