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本公开涉及一种模具控制方法及装置、旋转进气模具和化学气相沉积系统，涉及化工工程技术领域。其中，所述旋转进气模具的设计方法，包括：在模具主体的反应室内一侧设置不可旋转的底盘；将所述不可旋转的底盘与至少2个支撑轴的一端连接，将所述至少2个支撑轴...
该专利属于上海大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海大学授权不得商用。

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