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本发明涉及一种氮化镓外延层的生长方法以及氮化镓外延层。氮化镓外延层的生长方法包括：提供一氮化镓衬底；对氮化镓衬底进行加热，使得氮化镓衬底表面的至少部分被分解形成若干氮化镓柱体；以氮化镓柱体为种子层在氮化镓衬底上生长氮化镓外延层。利用氮化镓材...
该专利属于苏州纳维科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州纳维科技有限公司授权不得商用。

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