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文档序号:40964080
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实施方式的半导体装置包括:第一氮化物半导体层(12),设置在基板(10)上;第二氮化物半导体层(13),设置在第一氮化物半导体层(12)上,带隙比第一氮化物半导体层(12)大;源极电极(14)及漏极电极(15),相互分离地设置在第二氮化物半...
该专利属于株式会社东芝所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社东芝授权不得商用。
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