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在一个方面中，在工艺腔室中在第一压力下执行工艺操作，且在外延沉积腔室中在大气压下执行外延沉积操作。大气压高于第一压力。将工艺腔室安装至在第一压力(减小的压力)下操作的第一主机，且将外延沉积腔室安装至在大气压下操作的第二主机。在一个方面中，工...
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