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本发明的类金刚石复合膜的制备方法包括：预清洗一基材；在所述基材上形成含硅的一过渡层；在所述过渡层上形成一类金刚石碳层；对所述类金刚石碳层进行离子刻蚀并在所述类金刚石碳层上掺杂一含氟保护层，其中，控制掺杂气体在真空度为3.3×10‑4Pa‑3...
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