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透射电子显微镜的自动数据采集方法技术
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下载透射电子显微镜的自动数据采集方法的技术资料
文档序号:40958147
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一种用于透射电子显微镜的自动数据采集方法,该方法包括:以第一放大率获得样品的参考图像;对于在该参考图像中识别的第一多个目标位置中的每个目标位置:将该透射电子显微镜的电子束引导到该目标位置,以大于该第一放大率的第二放大率获得该样品的校准图像,...
该专利属于FEI公司所有,仅供学习研究参考,未经过FEI公司授权不得商用。
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