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具有类金刚石复合膜的结构制造技术
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下载具有类金刚石复合膜的结构的技术资料
文档序号:40957978
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本发明具有类金刚石复合膜的结构包括:一基材;形成在所述基材上的一含硅过渡层;以及形成在含硅过渡层的复合膜,其中所述复合膜包括氟及类金刚石碳。本发明具有良好的膜基结合力、高硬度防刮耐磨性、疏水疏油性以及高透光率。...
该专利属于东莞新科技术研究开发有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过东莞新科技术研究开发有限公司授权不得商用。
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