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本发明的压力传感器元件具备：膜片，其具有隔膜部；基板，其在厚度方向上与膜片对置；环状的防护部，其位于膜片及基板之间，与膜片及基板接合；以及基座部，其配置在由膜片、基板及防护部形成的密闭空间，与膜片接合且与基板及防护部分离。基座部的第一电极经...
该专利属于株式会社村田制作所所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社村田制作所授权不得商用。

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