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本申请公开了一种线圈的定位方法及半导体工艺设备，涉及半导体领域。一种线圈的定位方法包括：获取加热线圈及热场的初始相对位置；沿轴向方向移动加热线圈，当加热线圈的第一端移动至热场第一端时，记录加热线圈的中心距基准位置的第一距离；沿轴向方向移动加...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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