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提供了通过以下方式形成用于多重图案化方案的间隔物材料的方法和装置：在多重图案化方案期间，在沉积间隔物材料之前在含碳心轴上沉积牺牲层，并且在含碳心轴上沉积间隔物的同时去除牺牲层；和/或使用在原子层沉积期间涉及等离子体处理的软原子层沉积，以在心...
该专利属于朗姆研究公司所有，仅供学习研究参考，未经过朗姆研究公司授权不得商用。

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