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披露了一种确定测量选配方案的方法，所述测量选配方案描述用于从衬底上的复合结构测量所关注的参数的测量设置。所述方法包括获得与参考目标的测量相关的第一训练数据，所述目标包括：所关注的参数目标，每个所关注的参数目标具有遍及所关注的参数目标而变化的...
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