温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

在处理站中被配置成支撑衬底的可定位基座，其包含基板、杆部、以及布置围绕该杆部的多个定位销。该多个定位销被配置成插入在该处理站的第一表面中的指定接收凹槽内，以减少错位并促进该可定位基座的调整范围。多个定位销中的至少一者具有比其他定位销的直径大...
该专利属于朗姆研究公司所有，仅供学习研究参考，未经过朗姆研究公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。