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本申请公开了一种螺柱附接设备、一种螺柱移除设备、一种将表膜组件附接至图案形成装置的方法以及一种从图案形成装置移除螺柱的方法。所述螺柱附接设备包括被配置成保持图案形成装置的支撑结构和被配置成使螺柱接触所述图案形成装置的螺柱操纵器，其中所述螺柱...
该专利属于ASML荷兰有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过ASML荷兰有限公司授权不得商用。

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