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本发明提供一种气液分离装置及半导体设备，所述气液分离装置包括：气液分离罐，所述气液分离罐的外侧面并联有双层套管装置，用于所述气液分离罐的液位联通和监测；所述双层套管装置包括内连通管和外套接管，所述内连通管的两端与所述气液分离罐连通，所述外套...
该专利属于盛美半导体设备(上海)股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过盛美半导体设备(上海)股份有限公司授权不得商用。

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