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物体夹持器、保持物体的方法以及光刻设备技术
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下载物体夹持器、保持物体的方法以及光刻设备的技术资料
文档序号:40929180
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一种用于物体处置器的夹持器包括:用于接合物体的表面的接合表面、以及连接到第一出口的第一通道,所述第一出口被配置为在使用期间作为真空夹具而操作,所述真空夹具被布置为将所述接合表面固定到所述物体的所述表面。所述夹持器还包括:被布置为连接到压力源...
该专利属于ASML荷兰有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过ASML荷兰有限公司授权不得商用。
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