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本发明提供一种在铅垂方向上具有短的长度的基板处理装置。基板处理装置(1)具备基板保持部(41)、护罩(51)、刷子(61)、马达(81)和臂(71)。基板保持部(41)将基板(W)以水平姿势保持。护罩(51)配置在基板保持部(41)的侧方。...
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