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共定位于衬底处理系统上的紧凑型气体分离器设备技术方案
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下载共定位于衬底处理系统上的紧凑型气体分离器设备的技术资料
文档序号:40924821
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气体分离器设备包括第一室和第一出口,第一室包括用于接收包括第一气体和第二气体的气体混合物的第一入口。第一和第二珀耳帖设备安装到第一室以将第一室冷却到第一温度。第二室连接到第一室并包括第二出口。第三和第四珀耳帖设备分别安装到第一和第二珀耳帖设...
该专利属于朗姆研究公司所有,仅供学习研究参考,未经过朗姆研究公司授权不得商用。
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