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本技术公开了一种低应力AlNTi层状复合陶瓷基板，包括安装框，所述安装框的内部设置有复合陶瓷基板本体，所述安装框的中心线与复合陶瓷基板本体的中心线在同一垂直面上，所述安装框一端的两侧分别固定连接有一组活动框。该低应力AlNTi层状复合陶瓷基...
该专利属于浙江精瓷半导体有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江精瓷半导体有限责任公司授权不得商用。

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