下载一种半导体器件及制作方法的技术资料

文档序号:40923455

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本发明提供一种半导体器件及制作方法,包括衬底、介质层和第一场板,衬底上设有层叠的沟道层和势垒层;介质层位于势垒层上方,介质层中设置有栅金属层和漏金属层,栅金属层包括栅纵向部及位于栅纵向部顶端侧面的栅横向部,栅横向部的至少一部分朝向漏金属层;...
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