下载电容装置、以及半导体装置的技术资料

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一种电容装置、以及半导体装置,电容装置包含半导体基材与凹槽在半导体基材中。绝缘结构设在凹槽中。电容装置也包含半导体柱从半导体基材凸伸,且绝缘结构围绕半导体柱。单晶半导体区设在半导体柱上,且绝缘结构围绕半导体柱以形成电容装置的底板。电容装置包...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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