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文档序号:40910375

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本公开的一个或多个实施例涉及器件,包括:衬底,包括,基部部分,所述基部部分具有第一表面和第二表面,所述第二表面与所述第一表面相对;多个壁,所述多个壁从所述基部部分的所述第一表面突出,所述多个壁中的每个壁包括远离所述基部部分的端部表面;以及腔...
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