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多通道多电极异质结构场效应晶体管制造技术
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文档序号:40907421
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本发明提供了一种多通道多电极异质结构场效应晶体管,其包括导热基板、成核层、缓冲层、超晶格堆叠体、场效应晶体管和覆盖层。该导热基板为内嵌有多个通孔的半导体晶圆,该多个通孔填充有导热材料,该成核层设置在该导热基板上,该缓冲层设置在该成核层,该超...
该专利属于强茂股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过强茂股份有限公司授权不得商用。
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