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本发明的实施例提供了一种腔室导通阀门冷却装置和半导体制造设备，涉及半导体设备技术领域，该腔室导通阀门冷却装置包括导通管路、阀门组件和冷却通路，导通管路具有导通开口，阀门组件设置在导通管路上，冷却通路嵌设在导通管路内，并环绕导通开口设置；其中...
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