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一种柔性导光臂全息扫描检测装置制造方法及图纸
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下载一种柔性导光臂全息扫描检测装置的技术资料
文档序号:40899060
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本发明涉及光学扫描检测领域,涉及一种柔性导光臂全息扫描检测装置,包括:用于支撑的底座、导光臂、干涉装置以及外置导轨组,光线从底座的进光口射入,进入导光臂,进入反光镜组件的光线通过平面反光镜19的反射从出光通道15射出;光线进入干涉装置,物光...
该专利属于上海大学所有,仅供学习研究参考,未经过上海大学授权不得商用。
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