下载一种芯片分离装置及芯片分离方法的技术资料

文档序号:40879423

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本发明涉及半导体芯片封装技术领域,具体提供一种芯片分离装置及芯片分离方法,用于将芯片体从承载膜上分离,装置由顶针模块和吸嘴模块组成,顶针模块包括顶针帽、顶针杆和光源,顶针帽的内部设置有容纳腔,并上端设置有开口,芯片体放置在开口上方,容纳腔内...
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