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本发明涉及一种测量气体流量的方法，包含以下步骤：S1、提供一具有固定体积的用于处理晶圆的腔室，提供至少一测量准确的第一流量控制器，以及至少一第二流量控制器，所述第一流量控制器与所述第二流量控制器并联；S2、仅利用一所述第一流量控制器向所述腔...
该专利属于江苏天芯微半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏天芯微半导体设备有限公司授权不得商用。

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