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本发明公开一种高精度、大动态范围的横向剪切干涉像差检测方法及装置；通过对干涉光强分布及调制度函数推导，分析了泽尼克像差、剪切率对调制度函数的影响，定量得到了不同剪切率时任意多波前横向剪切干涉仪的像差测量范围的对应关系；根据对应关系，在多波前...
该专利属于北京理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京理工大学授权不得商用。

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