【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于光学测量，具体涉及一种高精度、大动态范围的横向剪切干涉像差检测方法及装置。
技术介绍
1、物镜的波像差检测精度是衡量其成像质量的重要指标，需要对背景环境和噪声不敏感的横向剪切干涉技术来实现其波面像差的检测。面向我国光刻产业对系统波像差高精度检测的基本需求，必须创新性提供一种更高精度、大动态范围的横向剪切干涉像差检测方法及装置。
2、公开资料显示，目前采用横向剪切干涉仪进行像差检测具有以下缺陷：
3、(1)剪切干涉仪技术中，剪切率的大小直接影响波前检测精度和动态范围。目前横向剪切干涉像差检测凭经验选取剪切率的大小，或当分束器件为二维光栅时根据波前斜率与光栅周期的关系，进一步选取剪切率，低效且影响检测精度。缺少二维横向剪切干涉像差测量范围与剪切率大小的对应关系。
4、(2)目前已有利用多方向剪切波前来提高波像差测量精度的重建方法，而当待测波面像差过大时，干涉图上某些方向的调制度发生反转，如若继续采用多方向组合重建最终会导致像差测量结果错误。因此对多波横向剪切干涉仪中调制度的变化规律和影响进行...
【技术保护点】
1.高精度、大动态范围的横向剪切干涉像差检测方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.如权利要求1所述的高精度、大动态范围的横向剪切干涉像差检测方法，其特征在于，mx(x,y)和my(x,y)分别为x和y方向的调制度函数因子，表达式为：
3.高精度、大动态范围的横向剪切干涉像差检测装置，其特征在于，包括光源及照明系统、扩展光源板、待测投影物镜、准直物镜、分束器件、探测模块和数据分析系统；
4.如权利要求3所述的高精度、大动态范围的横向剪切干涉像差检测装置，其特征在于，所述扩展光源板为由多个针孔阵列扩展光源按周期排布形成的扩展光源阵列，可...
【技术特征摘要】
1.高精度、大动态范围的横向剪切干涉像差检测方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.如权利要求1所述的高精度、大动态范围的横向剪切干涉像差检测方法，其特征在于，mx(x,y)和my(x,y)分别为x和y方向的调制度函数因子，表达式为：
3.高精度、大动态范围的横向剪切干涉像差检测装置，其特征在于，包括光源及照明系统、扩展光源板、待测投影物镜、准直物镜、分束器件、探测模块和数据分析系统；
4.如权利要求3所述的高精度、大动态范围的横向剪切干涉像差检测装置，其特征在于，所述扩展光源板为由多个针孔阵列扩展光源按周期排布形成的扩展光源阵...
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