温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

公开了带电粒子光学设备。在一种装置中，设备包括带电粒子装置列和光传感器。物镜阵列向样品投射多个射束，并具有沿多个射束的路径布置的多个电极。多个闪烁体接收从样品发射的信号粒子。响应于所接收的信号粒子而生成光。光导装置将闪烁体生成的光引导到光传...
该专利属于ASML荷兰有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过ASML荷兰有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。