下载反应炉及具有该反应炉的镀膜设备的技术资料

文档序号:40816230

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本技术公开了一种反应炉及具有该反应炉的镀膜设备,反应炉,包括:炉单元,包括炉体、以及设置于炉体的端部的端盖,端盖设有装配孔;管单元,包括管件、SiC护套以及绝缘密封组件,管件穿设于炉体的内部、并穿设于装配孔且从炉体的内部伸出,SiC护套套设...
该专利属于深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。