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一种方法，包括以下步骤：接收与基板处理配方的第一配方操作的第一迭代相关联的第一传感器数据。所述方法进一步包括以下步骤：确定扰动数据，所述扰动数据是所述第一传感器数据与所述第一配方操作的第一设定点数据之间的差异。所述方法进一步包括以下步骤：至...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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