下载纳米压印用复制模制作装置的技术资料

文档序号:40808110

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本发明涉及一种纳米压印用复制模制作装置,包括:转印部,其在从一侧供应的薄膜形成复制模;薄膜供应部,其断续地对所述薄膜进行退卷以向所述转印部供应所述薄膜;薄膜回收部,其断续地卷取所述薄膜以从所述转印部回收所述薄膜,并且所述转印部包括:载台部,...
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