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本申请公开了一种工艺配方配置方法，基于预设配置文件中用于配置工艺配方编辑界面的界面配置信息，构建工艺配方编辑界面；基于工艺配方编辑界面上的编辑操作，确定工艺配方编辑界面上编辑好的工艺配方信息；基于预设配置文件中用于配置工艺配方文件的文件配置...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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