【技术实现步骤摘要】
本申请涉及半导体工艺领域，尤其涉及一种工艺配方配置方法。
技术介绍
1、在半导体工艺持续优化的过程中，需要不断地升级半导体设备的工艺配方编辑界面(用于配置工艺配方使用)，以满足半导体工艺的要求。现有的工艺配方配置方案为：一个工艺配方由多个工艺步(工艺配方的编辑、存储与执行的最小操作单位)组成，每个工艺步需要存储操控半导体设备用到的所有参数(包括流量、温度、控制类型、时间等参数)；在工艺配方编辑界面上以气路图形式显示每个工艺步的参数内容，具体通过点击工艺配方编辑界面上的按钮查看和编辑每个工艺步的参数内容；将每个工艺步的参数内容写入工艺配方文件，工艺配方配置完成。若工艺配方增加新的工艺参数，需要重新从代码级进行工艺配方编辑界面的修改，但这种方式下，工艺配方编辑界面的代码开发周期较长。
技术实现思路
1、本申请的目的是提供一种工艺配方配置方法，统一工艺配方的配置规范，若工艺配方增加新的工艺参数，无需代码修改，只修改配置文件即可，以减少工艺配方编辑界面的代码开发周期。
2、为解决上述技术问题，本申请提供了一种工艺配方配置方法，包括：
3、基于预设配置文件中用于配置工艺配方编辑界面的界面配置信息，构建所述工艺配方编辑界面；
4、基于所述工艺配方编辑界面上的编辑操作，确定所述工艺配方编辑界面上编辑好的工艺配方信息；
5、基于所述预设配置文件中用于配置工艺配方文件的文件配置信息，及所述工艺配方信息，生成包含所述工艺配方信息的所述工艺配方文件。>
6、可选地，所述界面配置信息包括：所述工艺配方编辑界面的每一列的列名称，及所述每一列包含的待显示变量的变量名称；
7、所述基于预设配置文件中用于配置工艺配方编辑界面的界面配置信息，构建所述工艺配方编辑界面，包括：
8、基于所述每一列的列名称和所述待显示变量的变量名称，构建用于显示所述每一列的列名称和所述待显示变量的变量名称的工艺配方编辑界面。
9、可选地，所述界面配置信息还包括：所述列名称和所述待显示变量的变量名称中有文本显示需求的目标名称对应的显示文本信息；
10、所述基于预设配置文件中用于配置工艺配方编辑界面的界面配置信息，构建所述工艺配方编辑界面，还包括：
11、基于所述目标名称对应的显示文本信息，更新所述工艺配方编辑界面上显示的所述目标名称。
12、可选地，所述工艺配方配置方法还包括：
13、将所述目标名称及其对应的所述显示文本信息以键值对形式存储至文本映射表中；其中，所述目标名称为key，所述显示文本信息为value；
14、所述基于所述目标名称对应的显示文本信息，更新所述工艺配方编辑界面上显示的所述目标名称，包括：
15、查找所述文本映射表，确定所述目标名称对应的所述显示文本信息；
16、将所述工艺配方编辑界面上所述目标名称的原显示内容更新为所述显示文本信息对应的显示内容。
17、可选地，所述界面配置信息还包括：所述工艺配方编辑界面的目标列包含的隐含变量的变量名称，及所述每一列包含的每个变量的变量配置信息；所述变量配置信息包括以下至少一种信息：变量初始值、变量编辑方式、变量类型、变量有效范围；
18、所述基于预设配置文件中用于配置工艺配方编辑界面的界面配置信息，构建所述工艺配方编辑界面，还包括：
19、基于所述每一列包含的每个变量的变量配置信息，相应配置所述每一列包含的每个变量。
20、可选地，所述工艺配方配置方法还包括：
21、为每个所述变量创建用于填充变量信息的变量信息结构体；其中，所述变量信息包括变量名称和变量配置信息；
22、将每个所述变量的变量名称及其对应的所述变量信息结构体以键值对形式存储至信息映射表中；其中，所述变量名称为key，所述变量信息结构体为value；
23、所述基于所述每一列包含的每个变量的变量配置信息，相应配置所述每一列包含的每个变量，包括：
24、查找每个所述变量对应的所述变量信息结构体，以基于所述变量信息结构体中的变量配置信息相应配置每个所述变量。
25、可选地，所述基于所述工艺配方编辑界面上的编辑操作，确定所述工艺配方编辑界面上编辑好的工艺配方信息，包括：
26、基于所述工艺配方编辑界面上的新建操作，在所述工艺配方编辑界面上显示第一个工艺步对应的工艺步编辑界面；
27、基于所述工艺配方编辑界面上的插入操作，在所述工艺配方编辑界面上显示新的工艺步对应的工艺步编辑界面；
28、基于每个所述工艺步编辑界面上针对每个所述变量在相应变量配置信息指导下的变量值编辑操作，确定每个工艺步下每个所述变量的变量值信息，以得到由多个所述工艺步对应的所述变量值信息组成的所述工艺配方信息。
29、可选地，所述工艺配方配置方法还包括：
30、将目标工艺步下每个所述变量的变量名称及其对应的所述变量值信息以键值对形式存储至所述目标工艺步对应的目标映射表中；其中，所述目标工艺步为任一所述工艺步；所述变量名称为key，所述变量值信息为value。
31、可选地，所述文件配置信息包括：主函数配置信息和模板配置信息；所述主函数配置信息包括：包含单指令、条件指令和用于调用所述模板配置信息的模板调用指令的主工艺指令；
32、所述基于所述预设配置文件中用于配置工艺配方文件的文件配置信息，及所述工艺配方信息，生成包含所述工艺配方信息的所述工艺配方文件，包括：
33、依次读取所述主函数配置信息包含的每条指令，若读取的所述指令为单指令，则将所述单指令直接存储至第一指令集合链表中；若读取的所述指令为非单指令，则按照预设非单指令转换策略，将所述非单指令转换后再存储至所述第一指令集合链表中；其中，所述非单指令包括所述条件指令和所述模板调用指令；
34、在所述目标工艺步下，基于所述第一指令集合链表中存储的每条指令的指令类型及所述目标工艺步对应的工艺配方信息，确定每条所述指令对应的替换指令，以得到由所述目标工艺步对应的所有所述替换指令组合而成的工艺步配方指令；其中，所述指令类型包括单指令、条件指令、模板调用指令；
35、将每个所述工艺步对应的工艺步配方指令均写入所述工艺配方文件中。
36、可选地，所述模板配置信息包括：模板名称和多个子工艺指令；
37、所述基于所述预设配置文件中用于配置工艺配方文件的文件配置信息，及所述工艺配方信息，生成包含所述工艺配方信息的所述工艺配方文件，还包括：
38、依次读取所述模板配置信息包含的每条指令，若读取的所述指令为单指令，则将所述单指令直接存储至第二指令集合链表中；若读取的所述指令为非单指令，则按照所述预设非单指令转换策略，将所述非单指令转换后再存储至所述第二指令集合链表中；
39、所述在所述目标工艺步下，基于所述第一本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种工艺配方配置方法，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的工艺配方配置方法，其特征在于，所述界面配置信息包括：所述工艺配方编辑界面的每一列的列名称，及所述每一列包含的待显示变量的变量名称；
3.如权利要求2所述的工艺配方配置方法，其特征在于，所述界面配置信息还包括：所述列名称和所述待显示变量的变量名称中有文本显示需求的目标名称对应的显示文本信息；
4.如权利要求3所述的工艺配方配置方法，其特征在于，所述工艺配方配置方法还包括：
5.如权利要求2-4任一项所述的工艺配方配置方法，其特征在于，所述界面配置信息还包括：所述工艺配方编辑界面的目标列包含的隐含变量的变量名称，及所述每一列包含的每个变量的变量配置信息；所述变量配置信息包括以下至少一种信息：变量初始值、变量编辑方式、变量类型、变量有效范围；
6.如权利要求5所述的工艺配方配置方法，其特征在于，所述工艺配方配置方法还包括：
7.如权利要求5所述的工艺配方配置方法，其特征在于，所述基于所述工艺配方编辑界面上的编辑操作，确定所述工艺配方编辑界面上编辑好
8.如权利要求7所述的工艺配方配置方法，其特征在于，所述工艺配方配置方法还包括：
9.如权利要求8所述的工艺配方配置方法，其特征在于，所述文件配置信息包括：主函数配置信息和模板配置信息；所述主函数配置信息包括：包含单指令、条件指令和用于调用所述模板配置信息的模板调用指令的主工艺指令；
10.如权利要求9所述的工艺配方配置方法，其特征在于，所述模板配置信息包括：模板名称和多个子工艺指令；
11.如权利要求10所述的工艺配方配置方法，其特征在于，所述工艺配方配置方法还包括：
...【技术特征摘要】
1.一种工艺配方配置方法，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的工艺配方配置方法，其特征在于，所述界面配置信息包括：所述工艺配方编辑界面的每一列的列名称，及所述每一列包含的待显示变量的变量名称；
3.如权利要求2所述的工艺配方配置方法，其特征在于，所述界面配置信息还包括：所述列名称和所述待显示变量的变量名称中有文本显示需求的目标名称对应的显示文本信息；
4.如权利要求3所述的工艺配方配置方法，其特征在于，所述工艺配方配置方法还包括：
5.如权利要求2-4任一项所述的工艺配方配置方法，其特征在于，所述界面配置信息还包括：所述工艺配方编辑界面的目标列包含的隐含变量的变量名称，及所述每一列包含的每个变量的变量配置信息；所述变量配置信息包括以下至少一种信息：变量初始值、变量编辑方式、变量类型、变量有效范围；
<...【专利技术属性】
技术研发人员：王博，杨浩，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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