【技术实现步骤摘要】
本申请涉及半导体工艺领域，尤其涉及一种工艺配方配置方法。
技术介绍
1、在半导体工艺持续优化的过程中，需要不断地升级半导体设备的工艺配方编辑界面(用于配置工艺配方使用)，以满足半导体工艺的要求。现有的工艺配方配置方案为：一个工艺配方由多个工艺步(工艺配方的编辑、存储与执行的最小操作单位)组成，每个工艺步需要存储操控半导体设备用到的所有参数(包括流量、温度、控制类型、时间等参数)；在工艺配方编辑界面上以气路图形式显示每个工艺步的参数内容，具体通过点击工艺配方编辑界面上的按钮查看和编辑每个工艺步的参数内容；将每个工艺步的参数内容写入工艺配方文件，工艺配方配置完成。若工艺配方增加新的工艺参数，需要重新从代码级进行工艺配方编辑界面的修改，但这种方式下，工艺配方编辑界面的代码开发周期较长。
技术实现思路
1、本申请的目的是提供一种工艺配方配置方法，统一工艺配方的配置规范，若工艺配方增加新的工艺参数，无需代码修改，只修改配置文件即可，以减少工艺配方编辑界面的代码开发周期。
2、为解决上述技...
【技术保护点】
1.一种工艺配方配置方法，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的工艺配方配置方法，其特征在于，所述界面配置信息包括：所述工艺配方编辑界面的每一列的列名称，及所述每一列包含的待显示变量的变量名称；
3.如权利要求2所述的工艺配方配置方法，其特征在于，所述界面配置信息还包括：所述列名称和所述待显示变量的变量名称中有文本显示需求的目标名称对应的显示文本信息；
4.如权利要求3所述的工艺配方配置方法，其特征在于，所述工艺配方配置方法还包括：
5.如权利要求2-4任一项所述的工艺配方配置方法，其特征在于，所述界面配置信息还包括...
【技术特征摘要】
1.一种工艺配方配置方法，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的工艺配方配置方法，其特征在于，所述界面配置信息包括：所述工艺配方编辑界面的每一列的列名称，及所述每一列包含的待显示变量的变量名称；
3.如权利要求2所述的工艺配方配置方法，其特征在于，所述界面配置信息还包括：所述列名称和所述待显示变量的变量名称中有文本显示需求的目标名称对应的显示文本信息；
4.如权利要求3所述的工艺配方配置方法，其特征在于，所述工艺配方配置方法还包括：
5.如权利要求2-4任一项所述的工艺配方配置方法，其特征在于，所述界面配置信息还包括：所述工艺配方编辑界面的目标列包含的隐含变量的变量名称，及所述每一列包含的每个变量的变量配置信息；所述变量配置信息包括以下至少一种信息：变量初始值、变量编辑方式、变量类型、变量有效范围；
<...【专利技术属性】
技术研发人员：王博，杨浩，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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