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气体控制装置包括与气体放电室通信的控制系统。该控制系统包括性能监测模块，该性能监测模块被配置为在气体放电室的标准操作模式期间和气体恢复方案在使用气体恢复设置的气体放电室上的执行之间：将气体放电室的一个或多个性能参数与相应阈值进行比较；基于比...
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