下载一种基于高重频微波加速的高能电子显微系统的技术资料

文档序号:40788680

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本发明公开了一种基于高重频微波加速的高能电子显微系统,该系统对应的方法包括:利用电子枪产生初始电子束;对初始电子束进行压缩或加速,得到第一电子束;对第一电子束中的电子进行能散降低或加速操作,得到第二电子束;对第二电子束电子的横向尺寸进行整形...
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