【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及电子显微镜系统，特别是涉及一种基于高重频微波加速的高能电子显微系统。
技术介绍
1、电子显微镜是一种能够达到亚纳米水平空间分辨率的显微探测设备。其基本系统组成包括电子源、电子枪、磁透镜系统、样品以及探测模块。电子经过产生、加速、调制过程后在样品上和晶格发生散射，经过中间镜和投影镜后成像在探测屏上。不同原子类型、晶格结构、晶轴角度对应了不同成像结果。由于电子显微镜对材料结构的高度敏感性，在材料学和生物学等领域的研究中有着不可替代的作用。
2、电镜的理论空间分辨率由电子德布罗意波的波长决定。对于确定的相机，像素点的数量n和每个像素点的尺寸d不变；对于固定的样品和相机长度l，辐射源的德布罗意波长λ与相机的倒空间分辨率1/r成反比例关系。辐射源发出的辐射(例如电子束)能量提高，德布罗意波长λ会相应减小。因此，随着辐射源能量的提高，空间分辨率r相应地升高。
3、传统商用电子显微镜使用的电子源大部分为场致发射电子源，属于直流电子源。这种直流电子源的优势在于电子束品质高。由于直流电子显微镜能量较低，配合电子枪内的...
【技术保护点】
1.一种基于高重频微波加速的高能电子显微系统，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，还包括：激光模块，所述激光模块，包括驱动激光模块和泵浦激光模块，所述驱动激光模块和泵浦激光模块共用一个激光源，所述驱动激光模块包括倍频系统、压缩系统、展宽系统和脉冲堆积系统；
3.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述同步定时模块，包括信号分布系统、低电平系统以及激光微波同步系统；
4.根据权利要求3所述的系统，其特征在于，当所述电子枪为高重频电子枪时所述功率源模块包含为微波系统，所述微波系统包括固态放大器、高压调制器和速...
【技术特征摘要】
1.一种基于高重频微波加速的高能电子显微系统，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，还包括：激光模块，所述激光模块，包括驱动激光模块和泵浦激光模块，所述驱动激光模块和泵浦激光模块共用一个激光源，所述驱动激光模块包括倍频系统、压缩系统、展宽系统和脉冲堆积系统；
3.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述同步定时模块，包括信号分布系统、低电平系统以及激光微波同步系统；
4.根据权利要求3所述的系统，其特征在于，当所述电子枪为高重频电子枪时所述功率源模块包含为微波系统，所述微波系统包括固态放大器、高压调制器和速调管；所述低电平系统输出低功率的种子微波，经固态放大器放大产生第一微波，将第一微波和调制器的高压同时馈入速调管中，经速调管输出兆第二微波，所述第二微波经波导、四端环流器、波导耦合器后馈入电子枪或加速管，形成谐振的加速电场以加速电子；
5.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述电子束加速模块电子束加速模块，包括多段的加速管；所述加速管工作在高重频模式下；
6.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述能量选择模块，包括二极铁组合和可...
【专利技术属性】
技术研发人员：李任恺，杜应超，王翼安，施嘉儒，李雪明，邓智，唐传祥，黄文会，陈怀璧，王宏伟，朱静，
申请(专利权)人：清华大学，
类型：发明
国别省市：
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