下载一种光导半导体器件及制造方法的技术资料

文档序号:40777615

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本发明提供了一种光导半导体器件及制造方法,该光导半导体开关器件,包括:光导开关,形成于光导开关表面的光源;光源包括依次外延生长并形成于光导开关表面的n型GaN层,第一DBR层,有源区,第二DBR层以及P型GaN层,n型GaN层表面形成N电极...
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