下载一种晶片表面清洗装置的技术资料

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本技术提供了一种晶片表面清洗装置,包括:箱体和旋转板,所述箱体内的中部固定连接横板,横板内开设传动槽,而传动杆通过轴承活动连接在传动槽内,且箱体侧面固定连接主电机,主电机通过联轴器连接传动杆,而横板的上表面开设活动槽,活动槽内活动连接旋转块...
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