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本申请提供一种气体流量的检测方法，其包括下列步驟：抽取所述腔室内的气体，使所述腔室的气体压力降至底压；使所述腔室形成密闭的状态,从而使所述腔室具有既定的体积；所述控制装置产生第一流量数据Q1且传送至所述气体流量控制器；根据所述第一流量数据Q...
该专利属于杭州富芯半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州富芯半导体有限公司授权不得商用。

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