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本技术提供了一种增加使用寿命的靶材结构，所述以靶材结构的溅射面的中心为基底，沿由内向外的方向，所述靶材结构的溅射面包括第一溅射区与第二溅射区；所述第二溅射区为斜角结构；所述斜角结构的一端与第一溅射区临接，另一端与靶材结构的侧壁临接。本技术通...
该专利属于宁波江丰电子材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁波江丰电子材料股份有限公司授权不得商用。

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