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一种锑化铟晶锭腐蚀液和锑化铟晶锭的腐蚀方法技术
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文档序号:40769000
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本发明涉及晶体制备领域,具体是一种锑化铟晶锭腐蚀液和锑化铟晶锭的腐蚀方法。本发明提供的锑化铟晶锭腐蚀液,其包括HF、HNO3和H2O;所述HF的质量浓度为45~50wt%;所述HNO3的质量浓度为65~75wt%;所述HF、HNO3和H2O...
该专利属于安徽光智科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过安徽光智科技有限公司授权不得商用。
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